Център за колективно използване на научно оборудване "Диагностика на микро- и наноструктури"

Центърът е участник в дейностите на Федералните целеви програми:

Изследвания и разработки в приоритетни области на развитие на научно-технологичния комплекс на Русия за 2007-2012 г.
Научен и научно-педагогически персонал на новаторска Русия.
Изследвания и разработки в приоритетни области на развитие на научно-технологичния комплекс на Русия за 2014-2020 г.

CCU се намира на площада

1000 м 2, общ брой на персонала - 41 души, включително: 7 доктори, 12 кандидати на науките, 1 аспиранти, 10 студенти.

Обхватът на изследователската работа:
за 2008 - 2011г - 347,856 милиона рубли;
за 2012 - 2017г - 420,602 милиона рубли.

Адрес на Центъра за колективно използване на DMNS:
150007, Ярославъл, ул. Университетска, 21.
150000, Ярославъл, ул. Съветски 14. стая 220.
Уебсайт: www.nano.yar.ru.

Области и основни направления на научните изследвания
Интегрирани изследвания в областта на микро- и наноелектрониката. Разработване на физически, технологични и метрологични основи за създаване на критични елементи на конструкциите на интегрални наноелектронни устройства. Диагностични методи за микро- и наноструктури на електрониката, наноматериалите, биоорганичните нано-обекти. Разработване на нанокомпозитни и наноструктурирани материали за слънчева енергия и химически източници на ток.

Вторична йонна масспектрометрия:
- слоен физичен и химичен анализ на структурни материали и части;
- слоен анализ на функционални елементи на интегрални схеми;
- слоен анализ на суперрешетките;
- контрол на дозата на добавки в полупроводници и структури на тяхна основа;
- физикохимичен анализ на микрочастици с размери по-малки от 0,1 μm
- триизмерен анализ на разпределението на елементите;
- изследване на примеси и дефекти в кристали и минерали;
- физикохимичен анализ на биоорганични нанообекти;
- количествен микроанализ за геология и екология.
Сканираща електронна микроскопия:
- изследване на морфологията и откриване на дефекти на конструктивни материали и части;
- изследване на наночастици и наноматериали;
- изследвания и диагностика на микро- и наноелектронни устройства;
- изследване на биологични нанообекти;
- изследвания на материали в химическата промишленост.
Сканираща сонда микроскопия и профилометрия:
- изследване на повърхностната топография на конструктивни материали;
- изследване на морфологията на повърхността на полимерни и органични материали;
- изследване на повърхността на материали и устройства от микро- и наноелектроника;
- изследване на биомакромолекули и живи клетки.
- диагностика на проби в 3D наносонда система с субатомна разделителна способност;
- електрофизични измервания на микро- и наноелектронни структури в 3D наносонда система с субатомна разделителна способност;
- нанолитография в 3D наносонда система с субатомна разделителна способност;
- спектроскопски изследвания на микро- и наноелектронни структури в 3D-нано сондна система с субатомна разделителна способност.
Рентгенов структурен анализ:
- определяне на една или повече фази в неизвестна проба;
- количествено определяне на известни фази в сместа;
- определяне на кристалната структура и параметрите на елементарната клетка;
- анализ на поведението на дадено вещество в различни газообразни среди, ако кристалната структура се променя с промени в температурата, налягането или газовата фаза;
- анализ на повърхности и тънки филми;
- анализ на текстурата, която се получава при валцуване, чертане
Предавателна електронна микроскопия:
- контрол на продукти от съвременни литографски технологии;
- изследване на микро- и нанорелеф на повърхността на пробата и получаване на стерео изображение на повърхностната топография
- анализ на разпределението на химичните елементи в обекта (въз основа на рентгенов спектрален анализ);
- изследване на точкови и линейни дефекти на материали - свободни места и дислокации;
- анализ на потенциалното разпределение в сложни микропродукти (волтов контраст);
- изследване на разпределението на магнитните полета в пробата (магнитен контраст);
- метрология на микропродукти.
Шнекова спектроскопия
- сканираща електронна микроскопия;
- Оже-електронна спектроскопия;
- сканираща електронна микроскопия и Оже електронна спектроскопия.
Фотоволтаици
- измерване и анализ на светлинни и тъмни характеристики на токовото напрежение на слънчевите клетки.

Изследователска и развойна дейност в областта на микро- и наноелектрониката.
Диагностика на микро- и наноструктури на електрониката, наноматериалите, биоорганичните нано-обекти.
Персонализиран анализ на широк клас обекти по методи:
- вторична йонна масспектрометрия (IMS-4F);
- масова спектрометрия с време на полет (IONTOF SIMS5);
- електронна сканираща микроскопия (Supra 40);
- трансмисионна електронна микроскопия (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
- сондова микроскопия (SMM 2000);
- Обратно разсейване на Ръдърфорд (K2MV);
- Шнекова спектроскопия (PHI-660);
- FTIR спектроскопия (IFS 113-v);
- Рентгенов структурен анализ (ARL X'tra);
Научни и образователни услуги:
- усъвършенстване и обучение на оператори на аналитично и технологично оборудване за микро- и наноелектроника;
- подкрепа на специални курсове на индивидуални образователни програми;
- експериментална подкрепа за курсови, дипломни проекти, магистърски и докторски дисертации.

GOU VPO "Московски държавен университет. М. В. Ломоносов "
GOU VPO "Ярославски държавен технически университет"
GOU VPO "Ярославска държавна медицинска академия"
GOU VPO Rybinsk Държавна авиационна технологична академия на името на П.А.Соловьова "
ЗАО "Востек" (Ярославъл)
FSUE "Център за експлоатация на наземни съоръжения за космическа инфраструктура"
Институт на Руската академия на науките "Институт по докембрийска геология и геохронология на Руската академия на науките"
OJSC "Alrosa" (Якутия)
НП "Лаборатория за анализ на микрочастици" (Москва)
NPO Сатурн (Рибинск)
LLC "High Technologies" (Москва)
OOO NPO Likom (Ярославъл)
ETIZ-ACTIVE LLC (Ярославъл)
OJSC "Раменское конструкторско бюро за приборостроене"
LLC TD "REAL SORB" (Ярославъл)

Масспектрометър за време на полет IONTOF SIMS5 (ION-TOF GmbH, Германия) - произведен през 2007 г., струва 57 190 842 рубли.
Вторичен йонен масспектрометър IMS-4F (CAMECA, Франция) - издание от 1986 г., струва 6 417 200 рубли.
Предавателен електронен микроскоп Tecnai G2 F20 U-TWIN (FEI, Холандия) - издание за 2009 г., цена 84 967 104 рубли.
Сканиращ електронен микроскоп с полеви емисии с комплекс за диагностика на наноструктури Supra 40 (Carl Zeiss, Германия) с INCAx-акт приставка (Qxford Instruments) - произведен през 2008 г., струва 15 000 000 рубли.
Сканиращ електронен микроскоп в комплект с рентгенов спектрометър Ultra 55 (Leo Supra) (Zeiss, Германия) - произведен през 2006 г., струва 39 714 559,86 рубли.
Електронен микроскоп LEO 430 SEM (Carl Zeiss, Германия - Великобритания) - произведен през 1992 г., струва 8 352 558,72 рубли.
3D нанопробна система "GPI-Cryo-SEM" - сканиращ тунелен микроскоп, базиран на вакуумна система Supra 40 SEM със система за подготовка на проби (Proton-MIET) - произведена през 2009 г., струва 21 000 000 руб.
Клас мултимикроскопи CM-2000 и модел 130 профилометри (CJSC "Proton-MIET", Русия) - 2008 г., струва 7 528 400 рубли.
Шнеков спектрометър PHI-660 (Perkin-Elmer, САЩ) - издание от 1987 г., цена 3 635 861 рубли.
IR фурье спектрометър IFS-113v (Bruker, Германия) - издание 1988 г., струва 7 671 238 рубли.
Измервателен комплекс Oriel I-V (Нюпорт, САЩ) - произведен през 2009 г., струва 4 500 000 рубли.
Триизмерен оптичен безконтактен анализатор на повърхностна структура с високо прецизна система за позициониране на проби ZYGO New View (ZYGO, САЩ) - произведен през 2005 г., струва 13 596 498,4 рубли.
Рентгенов дифрактометър ARL X'tra (Thermo Fisher Scientific, Швейцария) - произведен през 2010 г., струва 9,6 милиона рубли.
Диференциален сканиращ калориметър DSC 204/1/G Phoenix (MAVEG, Германия) - произведен през 2002 г., струва 6 400 200 рубли.
Устройство за йонна имплантация със система за анализ RBS K2MV (НVЕЕ, Холандия) - 1989 г., цена 83 110 245 рубли.
Електронен литографски комплекс RAITH 150D (Raith, Германия) - издание от 2006 г., струва 47 154 724 рубли.
Уред за плазмено-химическо отлагане MINI GOUPYL (Alcatel, Франция) - произведен през 1989 г., струва 4 628 877 рубли.

& nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp